产品特点
l Ÿ 垂直平升行程可达50mm，整体尺寸结构紧凑，速度可达20mm/s，负载 60kg
l Ÿ 高精度交叉滚柱导轨，无槽无刷力矩电机，低膨胀系数光栅有助实现纳米级微动步距
l Ÿ 高可靠性驱动机构，使用寿命长
应用领域
RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
结构特点
RBZ-SG系列直驱结构，承载能力大，在一个长行程的移动范围，保持尽可能低的高度，优化阿贝误差影响，有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
直驱结构
力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
光栅闭环反馈
RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈，直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式，直接测量工件移动时的误差，提高了精度性能。
规格指标
|
型号 |
单位 |
RBZ-20SG |
RBZ-35SG |
RBZ-50SG | |
|
行程 |
mm |
20 |
35 |
50 | |
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
|
标准值 |
±1 |
±1 |
±1 | ||
|
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
|
标准值 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 | ||
|
直线度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
|
标准值 |
±3 |
±4 |
±5 | ||
|
Pitch Roll ( 2 ) |
Plus (1) |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±3.5 |
|
标准值 |
±5 |
±5 |
±7 | ||
|
Yaw ( 2 ) |
Plus (1) |
arc sec |
±2 |
±2 |
±3 |
|
标准值 |
±5 |
±5 |
±7 | ||
|
电子分辨率 ( 3 ) |
nm |
0.3 或 5（选配） | |||
|
最大速度 (空载) ( 4 ) |
mm/s |
10 |
10 |
20 | |
|
最大负载 |
kg |
20 |
40 |
60 | |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处
