产品特点
l Ÿ 紧凑式直驱结构 Ÿ 重复定位精度 ±50nm
l Ÿ 抗蠕动交叉滚柱导轨 Ÿ 直线度和平面度 ±0.5μm
l Ÿ 微动步距 ≤2nm Ÿ 可定制高真空版本
应用领域
RBN-XY系列是一款高精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，亚微米级重复定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。
结构特点
三片式叠层结构设计，有效地降低工作点的高度，减小阿贝误差对系统精度的影响。直线电机驱动，具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点。运动台在低速运动时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨，滚柱间线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。
精度性能
非接触式光栅尺闭环反馈，通过结构设计、材料选择、加工工艺、装配方法等综合把控，获得高精度指标，定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度和平面度±0.5μm，是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤2nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空环境下的版本，真空度10^-7Torr；定制，多轴结构等；根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格指标
|
型号 |
单位 |
RBN-50XY |
RBN-110XY |
RBN-150XY | |
|
行程 |
mm |
50 x 50 |
110 x 110 |
150 x 150 | |
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|
标准值 |
±0.25 |
±0.3 |
±0.3 | ||
|
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
|
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 | ||
|
直线度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.25 |
±0.5 |
±0.5 |
|
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 | ||
|
平面度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 | ||
|
Pitch Roll ( 2 ) |
Plus (1) |
arc sec |
±2.5 |
±3 |
±3 |
|
标准值 |
±5 |
±5 |
±5 | ||
|
Yaw ( 2 ) |
Plus (1) |
arc sec |
±1 |
±1 |
±1 |
|
标准值 |
±2.5 |
±2.5 |
±2.5 | ||
|
电子分辨率 ( 3 ) |
nm |
0.3 或 5（选配） | |||
|
速度 (空载) ( 4 ) |
mm/s |
200 | |||
|
加速度 (空载) ( 4 ) |
m/s² |
1,（5 定制） | |||
|
负载 |
kg |
20 | |||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
