产品特点
l Ÿ 气浮导轨，超高性能精度 Ÿ 重复定位精度 ±15nm （Sic版）
l Ÿ 平面式气浮结构，减小系统误差影响 Ÿ 直线度优于 1μm
l Ÿ 高速，快速的整定时间 Ÿ 可选光栅或激光尺位置反馈
l Ÿ 龙门式双驱结构，承载能力强 Ÿ 优化后的线缆管理系统
应用领域
QFHDS系列平面式气浮运动台，采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。
结构特点
QFHDS系列龙门平面气浮采用瑞邦精控独创技术，小孔节流和多孔气浮相结合的方式，极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构，使XY轴运动结构共面，反馈传感器在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性，开发的独特气浮结构，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现
高速运动和快速的位置整定。
精度性能
采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec满足超精密加工或测量，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。
线缆管理
使用高质量的无尘线缆，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，更适合在洁净车间内使用。
定制化
根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质，重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。可提供抱闸功能，适合高抖动要求的应用。
规格指标
|
型号 |
单位 |
QFHDS-300-300 |
QFHDS-500-500 |
QFHDS-800-800 | ||||
|
轴系 |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y | |
|
行程 |
mm |
300 |
300 |
500 |
500 |
800 |
800 | |
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.25 |
±0.25 | |||
|
标准值 |
±0.2 |
±0.5 |
±0.5 | |||||
|
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.075 |
±0.1 | |||
|
标准值 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 | |||||
|
直线度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.2 | |||
|
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 | |||||
|
平面度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.25 |
±0.3 | |||
|
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 | |||||
|
Pitch Roll Yaw ( 2 ) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 | |||
|
标准值 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 | |||||
|
正交性 |
Plus (1) |
arc sec |
2 | |||||
|
标准值 |
5 | |||||||
|
电子分辨率 ( 3 ) |
nm |
0.3 或 5（选配） | ||||||
|
最大速度 (空载) ( 4 ) |
m/s |
1 | ||||||
|
最大加速度 (空载) ( 4 ) |
m/s² |
5,（10, 20, 30 定制） | ||||||
|
最大负载 |
kg |
50 | ||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
订购信息
|
型号 |
QFHDS |
-300-300 |
-PLUS |
- AL |
-N |
-LS |
-0 |
-C2 |
-3 |
-Y |
-Y |
|
描述 |
平面式气浮运动台 |
X轴行程300mm；Y轴行程300mm |
PLUS高精度版 |
铝合金材质气浮导轨 |
默认 |
激光干涉仪反馈 |
零点在行程中心位置 |
无尘拖链 |
线缆长度3米 |
有压力保护开关 |
有支撑钢架 |
|
名称 |
型号 |
描述 |
|
多轴气浮运动台 |
QFHDS |
XY轴平面式气浮运动台 |
|
行程 |
-300-300 -500-500 -800-800 |
X轴行程300mm；Y轴行程300mm X轴行程500mm；Y轴行程500mm X轴行程800mm；Y轴行程800mm |
|
精度等级 |
-N -PLUS |
标准值 PLUS高精度版 |
|
气浮导轨类型 |
-AL -A -S |
铝合金材质气浮导轨 陶瓷材质气浮导轨 碳化硅材质气浮导轨 |
|
电子分辨率 |
-N -0.3 -5 |
出厂默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
|
反馈方式 |
-1 -T -ABS -LS |
增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 绝对式光栅反馈 激光干涉仪反馈 |
|
零点位置 |
-L -0 -R |
零点在行程左极限位置 零点在行程中心位置（标配） 零点在行程右极限位置 |
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线缆管理 |
-C1 -C2 |
高柔排线 无尘拖链 |
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线缆长度 |
-3 -5 -DZ |
长度3米（标配） 长度5米 定制 |
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压力保护开关 |
-Y -N |
有压力保护开关（标配） 无压力保护开关 |
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支撑钢架 |
-Y -N |
有支撑钢架 无支撑钢架（标配） |
