产品特点
l Ÿ 开式气浮叠层结构 Ÿ 结构紧凑、精度高
l Ÿ 重复定位精度±50nm Ÿ 直线度 ±0.1μm ,平面度 ±0.15μm
Ÿ 根据需求可定制 Ÿ 高柔线缆管理
应用领域
QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台,用于飞秒激光加工,超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业,由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构特点
双轴气浮运动台采用开式气浮导轨,直线电机和光栅尺组成,永磁预载结构,XY轴叠层具有体积小,精度高、工作点低等特点,能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽,作为底轴,整体性能更稳定。非接触式气浮结构,免维护运行,随着时间推移,不会出现磨损或性能下降。
精度性能
QFL-XY轴双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec,以上为全行程精度指标,由于非接触式运动结构,气浮运动台的跟随误差有了质地提升,精度性能得到显著提高。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外,可提供带屏蔽高柔线缆,提供系统抗干扰能力。
定制化
根据应用,结构可定制化设计,如增加平升或楔形Z轴,转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁,XY轴安装到大理石基座上,Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统,适合高抖动的应用领域。
规格指标
型号 |
单位 |
QFL-50XY |
QFL-100XY |
QFL-150XY | ||||
轴系 |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y | |
行程 |
mm |
50 |
50 |
100 |
100 |
150 |
150 | |
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 | |||
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 | |||||
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 | |||
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 | |||||
直线度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 | |||
标准值 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 | |||||
平面度 ( 2 ) |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 | |||
标准值 |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 | |||||
Pitch Roll Yaw ( 2 ) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 | |||
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 | |||||
正交性 |
Plus (1) |
arc sec |
5 |
2 |
2 | |||
标准值 |
10 |
5 |
5 | |||||
电子分辨率 ( 3 ) |
nm |
0.3 或 5(选配) | ||||||
速度 (空载) ( 4 ) |
mm/s |
200 | ||||||
加速度 (空载) ( 4 ) |
m/s² |
1,(5 定制) | ||||||
负载 |
kg |
10 | ||||||
供气压力 ( 5 ) |
MPa |
0.5±0.05 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨不建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。